シリコンカーバイドの開発の歴史
炭化ケイ素は、1891年にアメリカのアチソンがダイヤモンドの溶融実験で偶然発見した炭化物の一種です。当時はダイヤモンドの混合物と間違えられたため、エメリーと名付けられました。1893年にアチソンが登場しました。炭化ケイ素を工業的に製錬する方法は、一般的にアチソン炉と呼ばれ、現在まで使用されており、炭素質材料を抵抗炉の芯として、石英SIO2と炭素の混合物を通電加熱して炭化ケイ素を形成します。
シリコンカーバイドに関するいくつかのイベント
1905年 隕石中に初めて炭化ケイ素が発見された。
1907年に最初のシリコンカーバイド結晶発光ダイオードが誕生しました。
1955年、理論と技術の大きな進歩として、LELYは高品質の炭化を促進することを提案し、それ以来、SiCは必須の電子材料と見なされてきました。
1958年、学術交流を目的としてボストンで第1回世界シリコンカーバイド会議が開催されました。
1978 1960年代から1970年代にかけて、シリコンカーバイドは主に旧ソ連で研究されていました。1978年までに、「LELY改良技術」の穀物精製方法が初めて採用されました。
1987年から現在に至るまで、CREEの研究成果によりシリコンカーバイド生産ラインが確立され、サプライヤーは商用シリコンカーバイド基板の提供を開始しました。